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产品描述
 切割道检测 |
 IR隐裂 |
 异物 |
 污染 |
 崩边 |
 划伤 |
| 项目 | 内容 |
| 产品类型 | 6",8",12"带环晶圆 |
| 2D检测项目 | 异物、残胶、粒子、划痕、隐裂、污染、CP扎偏、面积过大等缺陷 切割道偏移、崩边等缺陷 |
| 片盒及传输方式 | 6",8",12"带环卡塞 |
| 镜头及分辨率 | 2x（2.75um）/3.5x(1.57um) / 5x（1.1um）/7.5x（0.73um）/10x（0.55um） |
| 精度 | 0.55μm/pixel |
| 选配及定制 | INK模块，IR模块 |
| 可检测区域 | 正面检测(标配)，背面检测(可定制) |
 划伤 |
 脏污 |
 IR隐裂 |
 IR隐裂 |
 划伤 |
 崩边 |
 点墨复判 |
 墨点识别 |
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