AOI设备

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晶圆2D&3D检测系统

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• 自研PL荧光光源<br> • 3D Bump量测<br> • 满足Wafer层叠检测<br>

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晶圆2D缺陷检测系统

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• 兼容frame wafer<br> • IR隐裂支持<br> • INK点墨支持<br>

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条状检测机

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• 多种上料方式可选<br> • 多组合打光和深度学习算法<br> • 误动作报警<br> • 支持不良标注及mapping<br>

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编带检测机

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• 定制光谱光源<br> • 飞拍检测<br> • 支持产品快换<br>

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